《薄膜材料与薄膜技术》课程教学课件

68p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第二章 薄膜的化学制备方法（1）

本文主要讲解薄膜的热生长、化学气相沉积的化学制备方法，详细介绍了CVD的基本原理、一般CVD反应、普通CVD方法、PECVD、光CVD、和激光CVD等制备方法。

• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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50p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第二章 薄膜的化学制备方法（2）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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39p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第六章 薄膜的应用（2）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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26p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 绪论

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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64p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法-蒸发

本文介绍了薄膜的物理制备的真空蒸发方法，包括真空蒸发原理、蒸发源的蒸发特性及薄厚分布、蒸发源的类型、合金及化合物的蒸发、膜厚和淀积速率的测量与监控等内容。

• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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69p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法（3）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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83p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法（1）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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35p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第一章 真空技术基础

本文介绍了真空的概念，特诊等基本知识，以及真空的获得、真空的测量、真空系统等内容。

• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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74p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第五章 薄膜的表征（1）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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97p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法（2）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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72p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第四章 薄膜的形核与生长

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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69p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第三章 薄膜的物理制备方法-溅射

本课件讲解了薄膜制备的溅射、离子镀、离子束增强沉积等物理制备技术。

• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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44p

ppt 薄膜材料与薄膜技术 第六章 薄膜的应用（1）

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• 作者: 资料一箩筐
• 2011-03-26
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