氮化镓有机化合物气相淀积（GaN MOCVD）设备控制系统研究

氮化镓有机化合物气相淀积（GaN MOCVD）设备控制系统研究1 绪论2 GaN MOCVD工艺分析与基本控制方案3 GaN -MOCVD系统温度控制研究4 GaN MOCVD控制系统的开发与应用5 结束语