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極薄ゲート酸化膜 POLY-SI TFT の作製・評価

9.78豆元 8页 86阅读 举报/认领 合伙人(招募中) 展开

本文档由 望穿秋水 分享于2012-07-14 12:18

ては、スパッタ法によりゲート酸化膜を薄膜化した. 場合の ... 程度まで極く薄くしたゲート酸化膜をもつ POLY-SI ... 100NM)/熱酸化膜(820NM)/SI 構造の SOI(SILICON ON ...
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文档页数：
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建筑/环境 --  绿化工程
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化膜 poly tft 基板 tfts sog
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