豆单
Cu互连阻挡层研究

收藏


分享

Cu互连阻挡层研究

djxgreat创建于2011-11-11 最后编辑: 2011-11-11 11:11 9,053阅读
Cu互连阻挡层研究
共 4 个文档
集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究 70p
pdf 集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究
集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究
集成电路铜互连工艺中先进扩散阻挡层的研究(博士论文) 150p
pdf 集成电路铜互连工艺中先进扩散阻挡层的研究(博士论文)
随着集成电路器件尺寸的持续缩小,互连延迟越来越成为制约集成电路发展的瓶颈问题。在32nm及以下技术节点,互连工艺中磁控溅射制备的Ta/TaN双层结构扩散阻挡层和铜籽晶层由..
集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究 80p
pdf 集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究
集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究
  • 作者: DodoDown
  • 2010-04-15
  • 格式: PDF
新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究 81p
pdf 新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究
暂无描述
  • 作者: 拉拉
  • 2011-05-03
  • 格式: PDF
更多 › 相关豆单推荐
创建豆单