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Cu互连阻挡层研究
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豆单
高等教育
科普读物
Cu互连阻挡层研究
djxgreat
创建于2011-11-11
最后编辑: 2011-11-11 11:11
9,053阅读
Cu互连阻挡层研究
共 4 个文档
70p
pdf
集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究
集成电路CU互连工艺中W基扩散阻挡层研究
作者:
Hemuchengxi
2011-05-08
格式: PDF
收藏到书房
150p
pdf
集成电路铜互连工艺中先进扩散阻挡层的研究(博士论文)
随着集成电路器件尺寸的持续缩小,互连延迟越来越成为制约集成电路发展的瓶颈问题。在32nm及以下技术节点,互连工艺中磁控溅射制备的Ta/TaN双层结构扩散阻挡层和铜籽晶层由..
作者:
948265406
2011-04-13
格式: PDF
收藏到书房
80p
pdf
集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究
集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究
作者:
DodoDown
2010-04-15
格式: PDF
收藏到书房
81p
pdf
新一代集成电路Cu互连用Ta基扩散阻挡层的制备及特性研究
暂无描述
作者:
拉拉
2011-05-03
格式: PDF
收藏到书房
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