ISSG及其氮化工艺对NBTI效应的改善
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ISSG及其氮化工艺对NBTI效应的改善ISSG及其氮化工艺对NBTI效应的改善[制造]孔艳梅 杨莉娟 约2040字 摘要:本文在对ISSG工艺特性简单分析的基础上讨论了ISSG 氧化物薄膜的可靠性问题。讨论了ISSG工艺及其相关的氮化工艺对NBTI的改善原理。数据表...
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