低缺陷掺氮直拉硅单晶抛光片

低缺陷掺氮直拉硅单晶抛光片低缺陷掺氮直拉硅单晶抛光片［创新专栏］宁波立立电子股份有限公司 浙江大学硅材料国家重点实验室　　约2342字　　1、产品及其简介　　该产品采用气相掺氮技术，即氮气既作为保护气，又通过与硅熔体反应掺入熔体，是硅晶体中氮的来源，解决...