某半导体厂(晶圆/芯片/IC/LED/TFT-LCD)酸废气、有机废气及热排废气处理系统施工验收规范
本文档由 如影 分享于2010-12-08 08:38
本系统为处理半导体厂的酸废气,有机废气及一般焊接热排气,内容涉及:—酸废气、有机废气、一般热排废气处理系统;施工产品与材料说明:废气处理系统流程图、洗涤塔外观尺寸图、活性塔外观尺寸图、风机外观尺寸图、设备平立面配置图;一般废(热)排气、含有机溶剂性废排气、含酸及腐蚀性的废排气施工说明
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