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水冷反应室式MWPCVD 制备金刚石膜装置研制

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喷淋式GaN_MOCVD反应室的CFD数值仿真及优化

喷淋式GaN_MOCVD反应室的CFD数值仿真及优化
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向豆丁求助:有没有反应室?