MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计

4.0豆元 58 2,510阅读 举报/认领 展开

本文档由 wang5945 分享于2010-12-06 19:44

本论文在充分了解和研究了国内外主流的几款MOCVD 系统的前提下,总结出MOCVD 系统的结构特点和运行过程,提出了对MOCVD 气路系统和加热系统进行控制的方法,全文主要从三个方面对MOCVD 系统进行了研究:首先,对MOCVD 的原理、MOCVD 系统的结构以及MOCVD 系统的运行过程进行了详细的研究,给出了本项目组设计的MOCVD 系统整体结构,对系统的各组成部分和系统的运行过程进行了详细的介绍。其次,针对MOCVD ..
文档格式:
.pdf
文档大小:
1.39M
文档页数:
58
顶 /踩数:
21 0
收藏人数:
35
评论次数:
1
文档分类:
汽车/机械/制造 --  电气技术
添加到豆单
系统标签:
mocvd 加热控制 气体 设备 系统 反应室
下载文档
收藏
打印
4.0豆元 会员免费下载

君,已阅读到文档的结尾了呢~~

下载文档 加入会员 免费下载

扫扫二维码,随身浏览文档

手机或平板扫扫即可继续访问

推荐豆丁书房APP  

获取二维码

分享文档

将文档分享至:
分享完整地址
文档地址: 复制
粘贴到BBS或博客
flash地址: 复制

支持嵌入FLASH地址的网站使用

html代码: 复制

默认尺寸450px*300px480px*400px650px*490px

支持嵌入HTML代码的网站使用

分享到