MOCVD设备气体输运与加热控制系统设计

本论文在充分了解和研究了国内外主流的几款MOCVD 系统的前提下，总结出MOCVD 系统的结构特点和运行过程，提出了对MOCVD 气路系统和加热系统进行控制的方法，全文主要从三个方面对MOCVD 系统进行了研究：首先，对MOCVD 的原理、MOCVD 系统的结构以及MOCVD 系统的运行过程进行了详细的研究，给出了本项目组设计的MOCVD 系统整体结构，对系统的各组成部分和系统的运行过程进行了详细的介绍。其次，针对MOCVD ..