无尘车间培训教材
本文档由 洁净室技术 分享于2011-03-31 00:20
无尘车间洁净工程有它的特殊性,对于这样的厂房它的特点非常明显(资料参考:http://www.klcfilter.com),第一个造价特点贵,随着半导体工程的发展,这样对于工厂的品质要求越来越高,TFT工厂也是一样,TFT工厂本身的玻璃基板的尺寸越来越大,从原来的一代线到现在的主流八代线,随着基本尺寸大造价越来越高,本文主要讲述无尘车间的详细操作过程。
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