[地质/水利]单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化

hra[地质/水利]单晶圆兆声清洗技术研究及兆声喷头方案优化/>EPE<br />电 子 工 业 专 用 设备<br />Equipment for Electronic Products Manufacturing<br />清洗技术与设备<br />单晶圆兆声清洗技术研究 及兆声喷头方案优化<br />刘永进，杜建科，冯小强 ( 中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601)<br />摘 要： 基于单晶圆兆声清..